De eerste is volgens de structuur kan worden onderverdeeld in mechanische vacuümpomp en jet vacuümpomp. Alle mechanische bewegingen (roterend of glijdend) die in verschillende vacuümapparatuur worden gebruikt om het volume van de pompzuigcontainer en de vacuümpomp te wijzigen, worden gewoonlijk mechanische vacuümpompen genoemd. De mechanische volumevacuümpomp verandert het werkvolume van de pompkamer door mechanische beweging om het effect van de mechanische volumevacuümpomp te bereiken. Deze pompen omvatten heen en weer bewegende vacuümpompen, roterende mechanische pompen (inclusief roterende pompen, schroefpompen, wortelpompen, vloeistofringpompen, enz.). Dit type pomp wordt gebruikt naast de mechanische pomp.
Ten tweede kan het volgens het werkingsprincipe worden onderverdeeld in een vacuümpomp voor gaslevering en een vacuümpomp met gasvanger. Een gastoevoerpomp is een doel waarmee gas continu in en uit kan worden gezogen om de zuigvacuümpomp te bereiken. Er zijn twee soorten vacuümpompen: vacuümpompen met variabel volume en momentumoverdrachtspompen. De gasopvangpomp is een vacuümpomp die gasmoleculen op het binnenoppervlak van de pomp adsorbeert of agglomereert, waardoor de hoeveelheid gasmoleculen in de container wordt verminderd en het doel van afzuiging wordt bereikt. Zuigervacuümpompen, draaischuifvacuümpompen, vacuümpompen, schroefvacuümpompen, vacuümpompen, diffusiepompinjectiepompen en verschillende andere typische typen.
